一、换油方法

1、将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋下注油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机 4~6 ，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油 200~300CC 。断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经 2~3 次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。

2、换油最好在油温升高后进行。对泵严禁用煤油、汽油、酒精等作非拆的清洗。平时也要注意保护进气口，检查滤网，防止灰尘、杂质进入泵内，弄污泵油，损坏真空室。 

二、真空泵换油后产生问题排除方法  

1、泵出气口有喷油现象： 油加的过多，减少油的加入量。  

2、进气口长时间抽大气，应加以避免。   

3、泵出气口有雾现象： 检查进气口及其他部分是否有漏气 。   

4、真空度偏低： 泵腔内及油中是否混入其他轻质液体，新换油后应适当运转一段时间；检查泵各密封部分是否有漏气现象；校对好检测仪表。    

5、扩散泵 、油增压泵换油注意事项：选用品质好的油品； 换油时应全部倒出旧油； 用溶剂汽油或专用清洗剂清洗泵内全部零件，并用丙酮或乙谜擦干，放在烤箱中烘干，也可用吹风机吹干； 按原来部位安装好泵内外零件，喷嘴应在泵腔中部； 操作者应手戴白纱脱脂手套装配，按要求量倒入扩散泵油或增压泵油。    

6、扩散泵使用中产生的问题及排除方法：

真空度偏低： 检查前级真空； 

检查冷却水是否畅通，水温是否偏高； 

冷却水管有没有部分堵塞； 

电炉丝功率偏大或偏小； 

供电电压是否偏低； 

各喷油嘴装配不正确； 

规管测量不准确； 

仪表或导线不正常； 

真空系统是否漏气；  

工作室经长期使用残留镀层是否太厚；   

由操作不当引起的油品很快氧化，即变红或变黑：

检查工作是是否忘记打开冷水； 

真空系统存在较严重漏气；  

扩散泵在工作时大气进入了扩散泵内；

工作室内有可挥发气体或灰尘进入泵腔内；